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沈陽科友真空技術有限公司公告
離子束鍍膜及離子束刻蝕設備

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LSK150型低溫升離子束刻蝕機

2017-02-16 點擊量:

1. 用帶能中性離子束對樣品進行干法刻蝕,制造微細圖形。適用于各類金屬膜,半導體膜和介質膜,半導體MEMS微器件
2. 具有物理濺射刻蝕、真空室通氣體反應刻蝕、離子源通氣體反應刻蝕功能
鍍膜室全不銹鋼結構,外表面噴砂處理,外形美觀

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